- 접촉식 측정에 비해 광학 기반의 비 접촉식 측정은 기계의 구동이 제한적으로 이루어지므로 매우 빠르게 측정할 수 있고 접촉을 하지 않으므로 무른 재질의 다상도 측정가능
- 비 접촉식 측정기술 중 간섭계를 이용한 측정기술이 많이 사용됨. 이는 전자기파의 성질을 이용하는 측정기술로써, 공간상의 서로 다른 경로를 가지는 빛은 경로차가 발생하는데, 이때 서로 다른 경로를 가지는 빛을 모으면 파동특성에 의해 간섭이 발생하며, 이 간섭신호를 측정한 후 신호처리를 통해 측정물체의 높이를 계산한다.
- 간섭계 시스템은 광원으로 단색광을 사용하며 일반적으로 측정대상을 통과한 빛과 통과하지 않은 기준 빛과의 간섭정보를 사용한다. 파장의 측정, 길이의 정밀한 비교, 광학적 거리의 비교 등에 사용하며, 정확도가 매우 높다.
- 주파수 스캐닝 간섭 시스템은 입력 빛의 파장을 연속적으로 변화시키며 간섭신호를 측정한다. 이는 입력 빛에 따른 측정밀도나 측정 속도의 제약이 가장 적다
[1] S.H. LEE, M.Y. Kim, J.I. Ser, and J.C. Park, “ Asymmetric polarization-based frequency scanning interferometer,” Optics Express, Vol. 23, No. 6, pp. 7333-7344, 2015.
[2] S.H. LEE, and M.Y. Kim, “An asymmetric polarization-based frequency scanning interferometer: design principle,” In SPIE Optical Engineering + Applications, pp. 92040A-92040A, 2014. |
